Artikel-Nr. OAVCB6060

Air_bearing_bar_edited.jpg

Die OAV-Luftlagerstange wird mit einem Profildesign hergestellt, mit dem vorhandene Anwendungen einfach nachgerüstet oder in neue Anwendungen integriert werden können.

Der OAV-Luftlagerstab erzeugt einen gleichmäßig verteilten Gasfilm zwischen der Oberfläche und dem Substrat. Aufgrund der geringen Gasviskosität und der Reibungsverluste durch viskose Scherung wird daher jeglicher mechanischer Kontakt vermieden.

Die Kombination aus Luftdruck und Vakuum-OAV-Luftlagerstange hält das Substrat fest und hebt gleichzeitig von der Oberfläche ab, um ultimative Präzision und Flughöhe zu erzielen. Fliegenhöhenbereich von 20 bis 120 Mikron bei einer Stabilität von ± 5 Mikron.